Kính hiển vi mô-đun bệ đầu dò PSM1000

Kính hiển vi PSM1000 hỗ trợ kết nối tiêu chuẩn quốc tế, dễ dàng tích hợp với probe station hoặc các hệ thống thiết bị khác, cho phép vận hành tự động hoặc bán tự động, nâng cao hiệu suất và độ chính xác trong kiểm tra.

Ứng dụng chính:

• Linh kiện bán dẫn

• Mạch tích hợp (IC)

• Tấm hiển thị phẳng (FPD)

• Wafer

• Hệ vi cơ điện tử (MEMS)

• Các lĩnh vực kiểm tra – phân tích vi mô trong công nghiệp điện tử

Đặc điểm sản phẩm

• Thiết kế mô-đun linh hoạt, cho phép cấu hình và mở rộng theo từng ứng dụng kiểm tra cụ thể.

• Hệ quang học Plan Apochromat cao cấp, cho hình ảnh sắc nét, độ tương phản cao và hạn chế tối đa sai lệch màu.

• Khoảng làm việc dài và siêu dài, thuận tiện cho thao tác đầu dò, sửa chữa laser và quan sát vi mô chính xác.

• Hỗ trợ đa dải bước sóng: VIS, UV/VIS và IR/VIS, đáp ứng nhiều yêu cầu kiểm tra khác nhau.

• Độ phóng đại ổn định, phù hợp cho quan sát dưới cấp micromet và phân tích cấu trúc vi mạch.

• Dễ dàng tích hợp với probe station và hệ thống đo kiểm tự động, thông qua các chuẩn giao tiếp phổ biến.

• Hỗ trợ vận hành tự động hoặc bán tự động, giúp nâng cao hiệu suất và tính lặp lại trong kiểm tra.

• Kết cấu chắc chắn, độ ổn định cơ học cao, giảm rung động, đảm bảo độ chính xác khi làm việc ở độ phóng đại lớn.

• Phù hợp cho môi trường R&D, phòng thí nghiệm và dây chuyền sản xuất bán dẫn.