Kính hiển vi kiểm tra Wafer / FPD PA80MET / PA120MET

Đặc điểm – Tính năng chi tiết

• Thiết kế mô-đun linh hoạt
  Cho phép cấu hình hệ thống theo từng nhu cầu kiểm tra wafer hoặc FPD, dễ mở rộng và nâng cấp trong tương lai.

• Hệ quang học hiệu suất cao
  Đảm bảo hình ảnh sắc nét, độ tương phản tốt, đáp ứng yêu cầu quan sát chi tiết bề mặt và cấu trúc vi mô.

• Kết cấu cơ khí ổn định, chống rung vượt trội
  Thiết kế trọng tâm thấp, độ cứng cao giúp giảm rung động tối đa, nâng cao độ chính xác khi quan sát và đo kiểm.

• Bàn mẫu kích thước lớn
  Phù hợp cho wafer và tấm FPD kích thước lớn, hỗ trợ quan sát toàn diện và thao tác thuận tiện.

• Độ ổn định cao khi làm việc liên tục
  Đáp ứng tốt các ứng dụng kiểm tra công nghiệp với thời gian vận hành dài.

• Khả năng quan sát chính xác trên diện tích rộng
  Phù hợp cho kiểm tra tổng thể bề mặt, phát hiện khuyết tật và phân tích cấu trúc.

• Dễ dàng tích hợp với hệ thống kiểm tra tự động
  Hỗ trợ kết nối với các hệ thống đo kiểm, dây chuyền sản xuất và giải pháp tự động hóa.

• Thao tác vận hành thân thiện
  Bố trí núm điều chỉnh khoa học, giúp người vận hành dễ làm quen và sử dụng.

• Ứng dụng linh hoạt 

  Phù hợp cho:

  • Kiểm tra wafer bán dẫn

  • Kiểm tra tấm hiển thị phẳng (FPD)

  • Kiểm soát chất lượng (QC)

  • Phân tích cấu trúc và đánh giá lỗi bề mặt

  • R&D và phòng thí nghiệm công nghiệp